En positionskännande detektor för extrem ultraviolett strålning

I detta projekt ska forskare vid Mittuniversitetet tillsammans med företaget SiTek Electro Optics utveckla en positionskännande detektor som ska utöka våglängdsområdet för detektorer ner till det extremt ultravioletta (EUV) området, med ett specifikt intresse för våglängden 13,5 nm (92 eV).

Hand håller en fyrkantig platta under ett mikroskåp.

Denna våglängd är den nya standard som används av de fotolitografiska maskpassare som är en nödvändighet för att halvledarindustrin ska kunna fortsätta följa Moore's lag. Genom att använda strålröret SPECIES vid MAX IV för utvärdering av hur olika detektordesigner påverkar såväl parametrar som olinjäritet och känslighet som strålningstålighet för 92 eV kommer tiden för utveckling av en EUV-känslig PSD att kunna förkortas avsevärt.